IT之家12月9日消息财新网，日本DNP(大日本印刷)当地时间今日宣布成功开发出线宽仅10nm的NIL纳米压印图案化模板，支持1.4nm级逻辑半导体以及NAND闪存的制造。
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DNP 在NIL图案化技术路线上已有超20年的研发历史，最新一代模板产品集成了光掩模和晶圆制造两部分的工艺技术专业知识，采用SADP(自对准双重图案化)“套刻”方案，通过在初步图案的基础上薄膜沉积和蚀刻使线条密度加倍。
DNP 表示其最新的NIL技术能耗仅有光刻机曝光工艺的1/10。该企业目前正与半导体制造商客户进行更深入的交流财新网，计划于2027年开始批量生产。
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